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更新日期：2024-03-22
簡(jiǎn)要描述：
日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達(dá)成實(shí)時(shí)檢測(cè)鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。
| 類型 | 無損傷 |
|---|
日本yamashitadenso表面缺陷探傷儀
即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)１
光學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。
根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容，可修正檢測(cè)靈敏度。
| 檢測(cè)尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測(cè)內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測(cè)倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
| 檢測(cè)靈敏度 | 檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm （固定照度之穩(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺(tái) | 手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
| 鏡面晶圓的表面檢測(cè) |
| 滑線檢測(cè) |
| 玻璃基板檢測(cè) |
| 其他鏡面基板檢測(cè) |
| 電動(dòng)馬達(dá)檢測(cè)平移臺(tái) |
| 自動(dòng)判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機(jī) |
| 搬運(yùn)裝置 |
※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。
※ 可將樣品寄送過來，之后我們?cè)賹⒂跋窠Y(jié)果回寄。
