SF6氣體露點(diǎn)管理檢測(cè)設(shè)備-MBW973-SF6

發(fā)布日期：2021-05-27      瀏覽次數(shù)：1002

SF6氣體露點(diǎn)管理檢測(cè)設(shè)備-MBW973-SF6



密封的露點(diǎn)/純度測(cè)量裝置，不泄漏SF6

 

特征

• 抽查
•  
• SF6氣體露點(diǎn)管理
• 氣體變壓器/氣體斷路器
• 氣體絕緣開(kāi)關(guān)柜
• 半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
• SF6氣體回收再利用
•  

主要用途

• SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點(diǎn)測(cè)量

 

環(huán)保測(cè)量?jī)x

SF6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其減排目標(biāo)是由《京都議定書》設(shè)定的，據(jù)說(shuō)其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的23,400倍。SF6氣體在斷路器，變壓器，半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體，水分和SF6純度的測(cè)量對(duì)于保持絕緣度bi不可少。
另一方面，迄今為止，在日本，在測(cè)量時(shí)將其釋放到大氣中或不進(jìn)行釋放就以高成本進(jìn)行收集和分解的做法一直是日本的慣例。通過(guò)使用MBW973-SF6，可以將測(cè)得的SF6氣體返回到原始設(shè)備，而無(wú)需釋放到大氣中，并且可以將釋放到大氣中的氣體減少到零。

高精度測(cè)量

迄今為止，由于電容類型易于獲取，因此已被廣泛使用。另一方面，MBW973-SF6的露點(diǎn)和純度測(cè)量均采用高精度鏡型，因此可以分別以±0.5°C和0.5％的精度進(jìn)行高精度測(cè)量，響應(yīng)速度快，幾乎不需要隨著時(shí)間的流逝而惡化。通過(guò)使用該裝置，可以大大減少操作者的工作時(shí)間，并且可以容易地進(jìn)行可靠的測(cè)量。

SO 2測(cè)量選項(xiàng)

SF6氣體通過(guò)與水反應(yīng)來(lái)凈化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6可以測(cè)量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池，并且可以以滿量程的±2％的精度進(jìn)行測(cè)量。