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daico在線加熱器（CL 加熱器）產(chǎn)品介紹
大工制作所的在線加熱器（CL加熱器：Chemical Line Heater）在接液部分使用高純度石英玻璃，用于半導(dǎo)體制造濕法工藝中各種化學(xué)溶液和純水的高溫加熱，并使用鹵素的紅外光能量使用燈加熱器的清潔加熱裝置。
① 清潔度
接液部件采用石英玻璃制成，金屬離子溶出極低，并具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性。
另外，由于它采用光輻射加熱方式，因此加熱器損壞時(shí)不會(huì)產(chǎn)生金屬污染。
② 高效熱源
具有快速啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)間的鹵素加熱器。 85%以上紅外轉(zhuǎn)換及投射。
③安全
配有超溫傳感器、過熱檢測傳感器和漏電檢測引線。
?另外需要檢測器。
?請?jiān)诓煌南到y(tǒng)中使用干熱檢測傳感器和過熱檢測傳感器。
④維護(hù)
采用單端加熱器，存儲(chǔ)緊湊，維護(hù)方便。
| 方法 | 使用鹵素?zé)艏訜崞鞯妮椛浼訜岱椒?/span> | |||
|---|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品編號(hào) | CLH2603T-25P | CLH3903T-25P | CLH4123T-25P | |
| 性能配置 | 加熱器功率 | 6千瓦 | 9千瓦 | 12千瓦 |
| 最高工作溫度 | 180℃ | |||
| 接液部件材料 | 高純石英玻璃 | |||
| 允許內(nèi)壓 | 0.4兆帕 | |||
| 管道直徑（石英） | 25毫米[※1] | 25毫米 | 25毫米 | |
| 適用配管（氟樹脂） | φ25mm[※1] | φ25mm | φ25mm | |
| 安全機(jī)制 | 超溫傳感器、過熱檢測傳感器、泄漏檢測引線 | |||
| 功耗 | 交流200V 6KVA | 交流200V 9KVA | AC200V12KVA | |
| 住房 | 外殼材質(zhì) | 氟樹脂（PTFE） | ||
| 外殼尺寸（寬 x 長 x 高） | 230×432×242mm [※2] | 230×432×242mm [※2] | 230×432×242mm [※2] | |
| 重量 | 約14公斤 | 約15公斤 | 約16公斤 | |
*不能用于浸泡石英玻璃或氟樹脂的化學(xué)溶液。
*石英管配件請自行準(zhǔn)備。 （石英管施工標(biāo)準(zhǔn)：與Nippon Pillar Industries石英接頭兼容）
*1 還備有配管直徑為 φ20mm 的“-20P"型。
*2 外殼（L）尺寸不包括石英頂部和底部管道的IN/OUT尺寸。
