半導體生產過程中露點儀的選擇

發(fā)布日期：2023-12-17      瀏覽次數：476

半導體生產過程中露點儀的選擇

半導體芯片對現代社會的重要性不言而喻，是支持5G，物聯網，AI，自動駕駛汽車，智能穿戴等市場發(fā)展的關鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密，制造工藝要求也越來越精細，更嚴格的規(guī)范和生產誤差。反過來，這將更加依賴于監(jiān)測和控制工藝條件的傳感器和儀器性能，盡可能降低減產或整批晶圓報廢的風險。

被稱為半導體“血液"的電子氣體是芯片制造業(yè)*，它參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等各個環(huán)節(jié)。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等，隨著芯片制造工藝的小型化，半導體生產對電子氣體的純度提出了更高的要求。

氣體中的露點測量是一個挑戰(zhàn)，以99.9999%的高純氮氣為例，其水分含量低于1ppm，也就是100萬個氣體分子中， 不到1個水分子。如此微量的水分子含量， 對濕度傳感器的靈敏度和準確性都是一個真正的考驗。在過往，高精度的水分儀往往伴隨著高成本，而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發(fā)，在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

TK-100在線露點儀

過去 40 年來，Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設備（主要是露點計）。電容式（阻抗式）露點儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產品，用于測量露點或水分含量。
TK-100在線露點儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的一套，因此您可以輕松開始測量露點。



特征

• 國內開發(fā)、國內制造、國內校準

• 露點測量范圍-100至+20℃dp

• 精度±2℃dp

• 高響應速度

• 有競爭力的定價體系

• 交貨快捷

• 完善的支持體系

• 可追溯至國家標準

主要用途

• 手套箱內的露點控制

• 干燥機露點檢查

• 熱處理爐內氣氛控制

• 潔凈室和干燥室的露點管理

• 氣體純度控制

• 天然氣水分管理

• 半導體制造設備

• 有機EL制造