日本新型氣體/水蒸氣透過(guò)率測(cè)量技術(shù)

發(fā)布日期：2022-08-31      瀏覽次數(shù)：766

日本新型氣體/水蒸氣透過(guò)率測(cè)量技術(shù)

（MORESCO Co., Ltd.）與先進(jìn)工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究院（AIST）納米材料研究所[研究主任佐佐木武史]和工程測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)研究所[研究主任Toshiyuki Takatsuji]共同開(kāi)發(fā)了一種新的方法（MA 方法：帶有附加支架的改進(jìn)的差壓法），它不同于測(cè)量氣體和水蒸氣透過(guò)率的傳統(tǒng)等壓法和差壓法。我們還開(kāi)發(fā)了一種基于 MA 方法的測(cè)量裝置（圖 1）。這次開(kāi)發(fā)的MA方法的特征在于，在連接到水蒸氣檢測(cè)器的空間（檢測(cè)側(cè)空間）和測(cè)量樣品之間提供了支撐層（圖2）。通過(guò)提供支撐層并設(shè)計(jì)其結(jié)構(gòu)，我們可以始終將支撐層保持在原位，無(wú)論樣品是否正在被交換或氣體/水蒸氣是否正在滲透。其結(jié)果是，能夠?qū)y(cè)定試樣兩側(cè)的壓力差對(duì)測(cè)定試樣造成的損傷(試樣表面形成的阻氣層的損傷等)抑制在最小限度，大幅度縮短測(cè)量時(shí)間。此外，該裝置的結(jié)構(gòu)得到了簡(jiǎn)化，從而提高了它的靈敏度。



圖1 開(kāi)發(fā)的氣體/水蒸氣透過(guò)率測(cè)量裝置



                                                                  圖2 所開(kāi)發(fā)的MA方法示意圖

傳統(tǒng)的測(cè)量方法存在當(dāng)測(cè)量樣品附著在裝置上時(shí)大氣中的水蒸氣會(huì)流入檢測(cè)側(cè)空間的問(wèn)題，預(yù)處理需要幾天到幾周的時(shí)間。在新開(kāi)發(fā)的 MA 方法中，在附著測(cè)量樣品時(shí)，檢測(cè)側(cè)的空間不與大氣開(kāi)放，因此可以保持高度真空，可以節(jié)省預(yù)處理時(shí)間。

　此外，在MA法中，檢測(cè)側(cè)空間的環(huán)境始終保持在良好狀態(tài)，因此通過(guò)上述預(yù)處理，樣品無(wú)需充分干燥即可進(jìn)行測(cè)量。因此，在測(cè)量柔性太陽(yáng)能電池和顯示器所需的水蒸氣透過(guò)率優(yōu)于10 -4 g/m 2 /天的阻隔膜時(shí)，它還具有縮短測(cè)量時(shí)間的效果。例如，傳統(tǒng)方法需要 100 小時(shí)來(lái)測(cè)量相當(dāng)于 10 -5 g/m 2 /天的阻隔膜的水蒸氣透過(guò)率，而開(kāi)發(fā)的設(shè)備可以在大約 20 小時(shí)內(nèi)測(cè)量，大約是之前的五分之一。

此外，所開(kāi)發(fā)的裝置能夠測(cè)量10 -7 g/m 2 /天水平 　的水蒸氣透過(guò)率。這相當(dāng)于每天在面積相當(dāng)于 10 個(gè)足球場(chǎng)的膠片上測(cè)量一滴水的能力。采用 MA 方法的設(shè)備配備了 AIST 開(kāi)發(fā)的校準(zhǔn)器（一種用于引入一定量水蒸氣的氣體引入裝置：標(biāo)準(zhǔn)電導(dǎo)元件），并且無(wú)需使用已知透光率的標(biāo)準(zhǔn)膜。獲得的測(cè)量值。

　除了水蒸氣，MA法還可以測(cè)量氧氣等氣體成分。因此，不僅在對(duì)水蒸氣阻隔性要求高的有機(jī)器件和太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，還將在對(duì)氧阻隔性對(duì)于防止氧化導(dǎo)致的品質(zhì)劣化很重要的食品、醫(yī)藥包裝領(lǐng)域進(jìn)行研究。以及處理氫的燃料電池等汽車相關(guān)領(lǐng)域。