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日本tazaki半導(dǎo)體制造用橡膠

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更新日期:2024-03-22

簡(jiǎn)要描述:

日本tazaki半導(dǎo)體制造用橡膠
- 對(duì)溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。
? 比 perflo-elastomer 便宜。
-適用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備的濕部件。

日本tazaki半導(dǎo)體制造用橡膠

日本tazaki半導(dǎo)體制造用橡膠

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- 對(duì)溶劑、酸和堿具有出色的耐受性。

? 比 perflo-elastomer 便宜。

-適用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備的濕部件。


 
超級(jí)橡膠通用 FKM
丙酮△ V%20.1*  262.2
△W%7.5 7.5*  118.5
二氯甲烷△ V%9.229.4
△W%5.817.2
甲苯△ V%7.4 7.49.5
△W%2.84.3
乙酸丁酯△ V%16.8364.7
△W%7.1 7.1161.5
叔丁基
甲醚
△ V%25.1194.6
△W%9.176.8
2-Acetone-1-
Ekitoshi 丙烷
△ V%6.0 6.0291.7
△W%2.8148.5
甲醇△ V%2.6 2.6148.6
△W%1.0 1.063.2
冰醋酸△ V%18.0168.7
△W%9.694.8
氫氧化鈉
(20%水溶液)
△ V%0.3± 0
△W%± 0-0.3


耐蒸汽橡膠

氟橡膠的交聯(lián)方式主要有兩種:多元醇交聯(lián)(氟橡膠的主流)和過(guò)氧化物交聯(lián),但各有優(yōu)缺點(diǎn)如下表所示。

 強(qiáng)項(xiàng)缺點(diǎn)
多元醇優(yōu)于壓縮變形用蒸汽水解
過(guò)氧化物優(yōu)異的耐水性和耐蒸汽性耐熱性和壓縮變形較差

由 Asahi Tazaki 開(kāi)發(fā)的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的壓縮變形和耐高溫蒸汽性。

成就示例

日本tazaki半導(dǎo)體制造用橡膠

 耐蒸汽 (T77SA1)通用 FKM
初始物理特性
抗拉強(qiáng)度 (MPa) 伸長(zhǎng)率
(%)
硬度
10.5
230
A69 / S
13.1
270
A70 / S
在100°C 和 1 個(gè)大氣壓下
蒸汽
120H后
抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率
變化率 (%)
硬度變化
± 0
+1.5
± 0
-20.5
+3.7
-4
240小時(shí)后
抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率
變化率 (%)
硬度變化
-3.5
+3.5
-2
-31.0 +
15.5
-8
180℃
蒸汽
1000H后
抗拉強(qiáng)度變化率 (%) 伸長(zhǎng)率
變化率 (%)
硬度變化

-15

+8
-4

-68
+60

-二十五

壓縮畸變率(%) 175° x 22H7



成就示例



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