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日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器

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更新日期:2024-03-19

簡(jiǎn)要描述:

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M
AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體,通過自動(dòng)控制比例電磁閥的開度來自動(dòng)調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器
測(cè)量范圍1MPa

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備

AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體,通過自動(dòng)控制比例電磁閥的開度來自動(dòng)調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無需添加外部傳感器。

控制壓力約為650kPa,控制流速為100kPa壓差,有兩種接觸類型,即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調(diào)制來控制比例電磁閥,AP160M模型可以提高響應(yīng)度并消除滯后現(xiàn)象,因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。

壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品,氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成,并且與惰性氣體,腐蝕性氣體,危險(xiǎn)氣體等所有氣體兼容。除了半導(dǎo)體工藝氣體以外,也是可能的。

日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

規(guī)格

模型AP160M
主要用途對(duì)于半導(dǎo)體
目標(biāo)氣體半導(dǎo)體工藝氣體就座氣體
入口壓力500kPa以下
耐壓小于1000kPa
壓力設(shè)定需要計(jì)算機(jī)等輸入的壓力設(shè)定值
控制方式比例電磁紙漿批發(fā)
控制壓力0-500kPa
流量當(dāng)壓差為100 kPa時(shí),有兩種類型,即500 cc / min和3000 cc / min。
響應(yīng)時(shí)間1秒鐘達(dá)到設(shè)定值
輸入信號(hào)0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉
R485
外部傳感器輸入(4 ?? 20A可能)
輸出信號(hào)報(bào)警輸出RS485.0-5VDC
管件1/4〃VCR等效
閥座泄漏10-6Pa ? m3 /秒以下
準(zhǔn)確性±5kPa(在800kPaFS時(shí))
電源電壓24VDC±10%
目前的消費(fèi)200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結(jié)
面之間的外部尺寸寬36×深46×高60mm
壓力傳感器是(內(nèi)置)
顯示設(shè)定裝置沒有裝備

 

 

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